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Les instruments de manipulation ont été étudiés pour assurer les mouvements de translation et de rotation des composants et échantillons sous environnement vide et ultravide (10-12 mbar) avec une grande précision.
Ils ont été développés par Meca 2000 pour assurer une robustesse et une fiabilité très élevées.
Les matériaux utilisés pour la fabrication de ces appareils ont été choisis pour minimiser au maximum les taux de dégazage et résister à des températures d’étuvage de 250°C.
De plus, leur fabrication est soumise à des contrôles rigoureux pour une compatibilité totale à un environnement ultravide.
La gamme Meca 2000 comprend :
- Les traversées de translation directe : série PTD
- Les traversées de translation à vis : série PTV
- Les traversées mécaniques et magnétique de rotation : série TMR et TMG
- La traversée de rotation à passage central : TMRC
- Les translateurs : RLTM, MTZ, MTZR et MZ
- Les tables 3 axes : MTE, MT3 et MTS3
- Les cannes de transfert magnétiques : CTM
- Les cannes de transfert mécaniques : CTL et CTLT II
Ces traversées, translateurs et tables de déplacement 2 ou 3 axes peuvent être montées ensemble afin d’obtenir un système de manipulation sur plusieurs axes.
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