MECA 2000

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Evaporation thermique


     
                                                                             

     

      

    PVD-4 : Evaporation thermique

               

    Avantages :

    • Système économique
    • Dépôt multi sources par évaporation thermique
    • Grande facilité d’utilisation grâce à deux accès directs par porte frontale et porte supérieure
    • Descente en pression rapide
    Caractéristiques :
    • Chambre inox avec porte frontale et porte de maintenance
    • Pression limite < 10-6 mbar
    • Jusqu’à 4 sources d’évaporation par effet Joule type « boat »
    • Switch de sélection des sources
    • Porte échantillon réglable
    • Jauge de mesure de pression
    • Caches pneumatiques
    • Hublot et cache (diam. 100 mm)
    • Sécurités électriques
    • Mise en pompage et remise à la  pression atm. automatique

    Options :

    • Logiciel de commande et supervision
    • Microbalance à quartz

    PVD-10 / 20 : Evaporation matériaux organiques / métaux

    Avantages :

    • Plein accès à l'intérieur de la chambre
    • Intégrable en boite à gants
    • descente en pression rapide
    • Evaporation possible de 10 matériaux organiques ou inorganiques
    • Manipulateur sur-mesure           

    Caractéristiques :              

    • Chambre inox avec porte frontale sur glissière
    • Pression limite < 10-7 mbar
    • Jusqu'à 10 sources d'évaporation (organique 2 cc / inorganique)
    • Porte échantillon rotatif (20 rpm) chauffant (600 °C)
    • Caches pneumatiques
    • jauge de mesure de pression
    • 2 Mesureurs à quartz
    • Switch de sélection de sources
    • 2 Hublots DN100
    • Sécurités électriques
    • Mise en pompage et remise à la Patm automatiques
    • Porte échantillon sur mesure

    PVD 10 :

    • Jusqu'à 10 sources d'évaporation (organique 2 cc / inorganique)
    PVD 20 :
    • 6 sources d'évaporation (organique 2 cc / inorganique) 
    • Canon à électron rotatif multi sources