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PVD-4 : Evaporation thermique
Avantages :
- Système économique
- Dépôt multi sources par évaporation thermique
- Grande facilité d’utilisation grâce à deux accès directs par porte frontale et porte supérieure
- Descente en pression rapide
Caractéristiques :
- Chambre inox avec porte frontale et porte de maintenance
- Pression limite < 10-6 mbar
- Jusqu’à 4 sources d’évaporation par effet Joule type « boat »
- Switch de sélection des sources
- Porte échantillon réglable
- Jauge de mesure de pression
- Caches pneumatiques
- Hublot et cache (diam. 100 mm)
- Sécurités électriques
- Mise en pompage et remise à la pression atm. automatique
Options :
- Logiciel de commande et supervision
- Microbalance à quartz
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PVD-10 / 20 : Evaporation matériaux organiques / métaux
Avantages :
- Plein accès à l'intérieur de la chambre
- Intégrable en boite à gants
- descente en pression rapide
- Evaporation possible de 10 matériaux organiques ou inorganiques
- Manipulateur sur-mesure
Caractéristiques :
- Chambre inox avec porte frontale sur glissière
- Pression limite < 10-7 mbar
- Jusqu'à 10 sources d'évaporation (organique 2 cc / inorganique)
- Porte échantillon rotatif (20 rpm) chauffant (600 °C)
- Caches pneumatiques
- jauge de mesure de pression
- 2 Mesureurs à quartz
- Switch de sélection de sources
- 2 Hublots DN100
- Sécurités électriques
- Mise en pompage et remise à la Patm automatiques
- Porte échantillon sur mesure
PVD 10 :
- Jusqu'à 10 sources d'évaporation (organique 2 cc / inorganique)
PVD 20 :
- 6 sources d'évaporation (organique 2 cc / inorganique)
- Canon à électron rotatif multi sources
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